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                無塵自動化系統

                在更加清潔的環境中,
                可以大幅度提高半導體
                技術的精確度與可靠
                無塵自動化網站首頁

                半導體在不足半個世紀的時間裏獲得了飛躍發展,已經成為現代社會不可缺少的產品.半導體產品生產技術的日新月異,需要高度管理下的無塵生產車間.在無塵車間內部.不僅搬送設備要避免出現塵埃,還要在高度自動化生產過程中擁有絕對的可靠性.村田公司多年來積累了豐富的自動化生產,無人化經驗,從很早就開始提供應用於無塵車間的各種搬送系統和保管設備.村田公司期待能夠通過提供無塵搬送系統,提高半導體產品的生產效率和可靠性,為今後多媒體時代的發展做出應有的貢獻.

                 無塵自動化系統
                半導體制造工廠使用的搬送系統
                OHT(空中單軌無人駕駛搬運系統)
                OHS(線性電動機驅動方式空中搬運系統)
                AGV(無人小車車)
                存儲庫
                MCS(搬送控制、管理系統)